Electron Bombardment

Magnetic sputter target - Diana de pulverización catódica magnética

Magnetic sputter target - Diana de pulverización catódica magnética

Flange: ICF70, ICF114, ICF152
Target size: 1-5 inch
RF power supply: 200-1000W
Water cooling

Sputter picture

Distance between target and substrate

(mm)

 Material

Ar pressure

(pa)

RF power

(W)

Film growth

(mm/min)
200 Cu 4 150 12
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Magnetron sputter target MST-ICF70-35 - DN-35CF
Magnetron sputter target MST-ICF70-35 - DN-35CF

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Magnetron sputter target MST-ICF70-38 - DN-38CF
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Magnetron sputter target MST-ICF70-40 - DN-40CF
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Magnetron sputter target MST-ICF114 - DN-63CF
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Magnetron sputter target MST-ICF114 - DN-63CF

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Magnetron sputter target MST-ICF152 - DN-100CF
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RF power supply and matching box RF-PS-MB
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