Magnetic sputter target - Bersagli per Polverizzazione Catodica

Magnetic sputter target - Bersagli per Polverizzazione Catodica

Flange: ICF70, ICF114, ICF152
Target size: 1-5 inch
RF power supply: 200-1000W
Water cooling

Sputter picture

Distance between target and substrate

(mm)

Material

Ar pressure

(pa)

RF power

(W)

Film growth

(mm/min)

200 Cu 4 150 12

Mostra:
Ordina per: